Gerador de oxigênio PSA para semicondutor

Name: Gerador de oxigênio PSA personalizado da China para fábrica de fornecedores de semicondutores - Serviço de atacado
Brand: NEWTEK
SKU: 265715282

No contexto dos requisitos extremamente altos da fabricação de semicondutores para pureza e estabilidade do gás, o gerador de oxigênio PSA usa a tecnologia de adsorção de giro de pressão (PSA), usa o ar como matéria-prima e aproveita a diferença na capacidade de adsorção de gás do adsorvente sob diferentes pressões para oxigênio de alta pureza eficiente. O gerador de oxigênio pode emitir oxigênio com pureza precisa e fluxo estável, atendendo aos requisitos rigorosos para oxigênio em todos os aspectos da fabricação de semicondutores, desde o processamento da wafer até a embalagem de chips. O equipamento possui um alto grau de automação, pode operar de forma estável por um longo tempo, reduzir custos de operação e manutenção e pode ajustar de maneira flexível vários parâmetros para criar uma solução de suprimento de oxigênio confiável, eficiente e econômica para fabricantes de semicondutores, ajudando a indústria de semicondutores a melhorar a eficiência da produção e a qualidade do produto.

Enviar inquérito

Descrição

Parâmetros técnicos

Por que a indústria de semicondutores precisa de geradores de oxigênio PSA?

Fornecimento de gás de alta pureza:A fabricação de semicondutores tem requisitos rígidos sobre a pureza do gás e o oxigênio de alta pureza é indispensável para litografia, limpeza e outros links. Com a ajuda da tecnologia de adsorção de balanço de pressão, o Gerador de Oxigênio PSA produz oxigênio com uma pureza de 95%± 3%, o que atende aos requisitos da formação da camada de óxido e limpeza de bolas e evita o risco de contaminação por impureza do suprimento tradicional de oxigênio do cilindro a gás.
Garanta a estabilidade do processo:As linhas de produção de semicondutores requerem um suprimento de gás contínuo e estável. O Gerador de Oxigênio PSA usa torres de adsorção dupla para funcionar alternadamente e, através do controle inteligente do PLC, ele pode atingir 24- hora de suprimento ininterrupto de oxigênio, evitando interrupções de produção causadas pela substituição manual de garrafas e se adaptarem aos processos sensíveis à pressão do ar, como deposição de filmes finos e etapa.
Reduza os custos e otimize o espaço:Comparados com tanques de armazenamento de oxigênio líquido e cilindros de gás de alta pressão, os geradores de oxigênio PSA produzem oxigênio no local, reduzindo bastante os custos de transporte e armazenamento. Possui uma pequena pegada e suporta expansão modular, que atende às necessidades de maximizar a utilização do espaço em oficinas limpas de fábricas de semicondutores. O custo de uso a longo prazo é cerca de 20% menor que o método tradicional.
Adaptar -se a processos especiais:Em processos avançados, alguns processos especiais requerem controle preciso da concentração de oxigênio. O gerador de oxigênio PSA pode ajustar flexivelmente a pureza da saída de oxigênio (95%-99. 9%) ajustando a pressão de adsorção e a razão de peneira molecular para atender aos requisitos especiais de processo da fabricação de memória flash 3D NAND.
Ambientalmente amigável e fácil de manter:A tecnologia PSA não requer reagentes químicos e o processo de produção de oxigênio não emita substâncias nocivas, que atendem aos padrões de proteção ambiental da indústria de semicondutores. O equipamento utiliza o aço inoxidável e as peneiras moleculares auto-limpantes, com um ciclo de manutenção de até 3-5 anos, e é adequado para ambientes de fabricação de wafer de alta limpeza.

Consulta gratuita

Why Does The Semiconductor Industry Need PSA Oxygen Generators?

categoria	Detalhes do parâmetro
Pureza de oxigênio	93% -99. 5% (o sistema de filtração ULPA pode ser personalizado, conteúdo de impureza menor ou igual a 1ppb)
Pressão de saída	0. 5-1. 5mpa (ajustável, adaptado ao padrão de entrada de ar do equipamento semicondutor)
Faixa de fluxo	10-5000 nm³/h (suporta expansão paralela de várias unidades)
Ponto de orvalho	Menor ou igual a -70 grau (para impedir que o vapor de água poluir o ambiente do processo)
Eficiência energética	Menor ou igual a 0.
Nível de ruído	Menos ou igual a 65dB (estrutura de baixa vibração + concha à prova de som, de acordo com os padrões da sala limpa da classe 1000)

As vantagens principais do gerador de oxigênio PSA

99% PSA Oxygen Generator For Gold Mining

Garantia de pureza ultra alta
A peneira molecular de duas camadas dupla e a unidade de oxidação catalítica são usadas para remover profundamente as impurezas como hidrocarbonetos e CO₂, e a pureza do oxigênio atinge mais de 99,5%, atendendo ao padrão semi F20. Analisador on-line em tempo real interno, sincronização de dados no sistema SCADA de fábrica para garantir a estabilidade do processo.

Controle inteligente e design redundante
Sistema de controle PLC+integrado HMI, suporta monitoramento remoto, auto-diagnóstico de falha e comutação de emergência (adsorção redundante de duas torres). Tecnologia de compensação automática de pressão para lidar com a demanda instantânea de alto fluxo de equipamentos semicondutores.

Solução de economia de energia de baixo carbono
A tecnologia sinérgica da VPSA (Adsorção de Administração de Swing Pressão A vácuo) reduz o consumo de energia, economizando 15% -20% de energia em comparação com o módulo de recuperação de calor de resíduos opcionais tradicional para reduzir a carga de calor da oficina.

Compatibilidade da sala limpa
Todo o canal de fluxo de aço inoxidável + revestimento de nano para evitar contaminação por íons metálicos; Design de vedação de vazamento zero, passou ISO 8573-1 classe 0 certificação.

Tipos de plantas de oxigênio PSA

Equipamento modular

Equipamento de torre dupla

Equipamento de contêiner

				Seleção do gerador de oxigênio da série NTK95
Não.	Modelos	Capacidade (NM3/HR)	Pureza	Consumo de energia de 1nm3 oxigênio produzido (KW/H)	Número de garrafas flutuou em 12 horas (PCs)	Operador necessário
1	Ntk 95-5 p	5	95%+-1%	3.54	10	2
2	Ntk 95-10 p	10	95%+-1%	2.52	20	2
3	Ntk 95-15 p	15	95%+-1%	2.31	30	2
4	Ntk 95-20 p	20	95%+-1%	2.13	40	2
5	Ntk 95-25 p	25	95%+-1%	2.01	50	2
6	Ntk 95-30 p	30	95%+-1%	2.09	60	2
7	Ntk 95-40 p	40	95%+-1%	1.81	80	2
8	Ntk 95-50 p	50	95%+-1%	1.94	100	2
9	Ntk 95-60 p	60	95%+-1%	1.62	120	2
10	Ntk 95-80 p	80	95%+-1%	1.92	160	2
11	Ntk 95-100 p	100	95%+-1%	1.83	200	2

Perguntas frequentes

1. Quão alto pode ser a pureza do oxigênio e atende aos requisitos da fabricação de semicondutores?
Nosso gerador de oxigênio PSA para semicondutores pode produzir rotineiramente oxigênio com uma pureza de 95%± 3%. Para alguns processos que requerem pureza de oxigênio extremamente alta, ajustando os parâmetros do equipamento, a pureza da saída de oxigênio pode ser controlada com flexibilidade na faixa de 95% - 99. 9%, atendendo totalmente aos requisitos rigorosos para a pureza do gás nos links principais, como litografia semicondutores, limpeza e oxidação.

2. Quão estável é o equipamento e pode garantir a operação contínua da linha de produção de semicondutores?
O equipamento adota um modo de trabalho alternativo da torre de adsorção dupla, combinada com um sistema de controle inteligente do PLC, para obter 24- hora de suprimento de oxigênio ininterrupto e estável. Esse modo de operação automatizado evita interrupções no fornecimento de gás causadas pela substituição manual de garrafas, fornece suprimento de gás confiável e estável para processos como deposição de filmes finos e gravação sensíveis à pressão do ar e reduz efetivamente o risco de interrupções de produção causadas por problemas de suprimento de gás.

3. Comparado aos métodos tradicionais de suprimento de oxigênio, qual é o custo de uso?
Comparado com tanques de armazenamento de oxigênio líquido ou cilindros de gás de alta pressão, nosso gerador de oxigênio PSA adota o modo de produção de oxigênio no local, o que salva muito os custos de transporte e armazenamento de oxigênio. O equipamento ocupa uma área pequena e pode ser expandida modularmente, reduzindo os custos de aluguel do local. A longo prazo, o custo é cerca de 20% menor que o método tradicional de suprimento de oxigênio, o que economiza significativamente os custos operacionais.

4. A manutenção do equipamento é complicada? Quanto tempo dura o ciclo de manutenção?
O equipamento é fácil de manter, usando aço inoxidável de nível alimentar e peneiras moleculares auto-limpantes, o que reduz bastante a carga de trabalho de manutenção. Em circunstâncias normais, o ciclo de manutenção é tão longo quanto 3-5 anos, e estamos equipados com uma equipe profissional pós-venda para fornecer suporte técnico a qualquer momento para ajudá-lo a resolver problemas durante a operação do equipamento.

Aja agora para proteger sua cadeia de suprimentos de oxigênio

✅ Soluções personalizadas:
Conte -nos sua capacidade da cama e pico de demanda por uma proposta personalizada.
✅ Entrega rápida:
Módulos pré-engenhados enviados em 8-12 semanas.
✅ Opções de financiamento:
Planos de arrendamento-para-próprio disponível disponíveis.

Número de telefone

+86 15888864725

Número do WhatsApp

+86 15888864725

E-mail

sales@newtek-group.com

NEWTEK